GB/T18032-2000砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
发布日期:2024-11-19
标准简介:本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度的检验。
标准号:GB/T 18032-2000
标准名称:砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
英文名称:The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2000-04-03
实施日期:2000-09-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H24金相检验方法
国际标准分类号(ICS):冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
起草单位:北京有色金属研究总院
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术质量监督局