GB/T14603-1993电子工业用气体三氟化硼

标准简介：本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

标准号：GB/T 14603-1993

标准名称：电子工业用气体 三氟化硼

英文名称：Gases for electronic industry. Boron trifluoride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准：被GB/T 14603-2009代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

检测流程