GB/T18867-2002电子工业用气体六氟化硫

标准简介：本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。

标准号：GB/T 18867-2002

标准名称：电子工业用气体 六氟化硫

英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2002-10-15

实施日期：2003-04-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准：被GB/T 18867-2014代替

起草单位：中核红华特种气体股份有限公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫.

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