GB11164-1989真空镀膜设备通用技术条件
发布日期：2024-11-22
标准号：GB 11164-1989
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
标准类型：国家标准
标准性质：强制性
标准状态：作废
实施日期：1990-05-01
中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>实验室仪器与真空仪器>>N60实验室仪器与真空仪器综合
替代以下标准：被GB/T 11164-1999代替
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