GB/T14601-1993电子工业用气体高纯氨

标准简介：本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。

标准号：GB/T 14601-1993

标准名称：电子工业用气体 高纯氨

英文名称：Gases for electronic industry. High purity ammonia

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准：被GB/T 14601-2009代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局

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