GB/T11446.9-2013电子级水中微粒的仪器测试方法

标准简介：GB/T11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。

标准号：GB/T 11446.9-2013

标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法

英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-12-31

实施日期：2014-08-15

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：31-030

替代以下标准：替代GB/T 11446.9-1997

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所

归口单位：中国电子技术标准化研究院

发布单位：国家质量监督检验检疫.

检测流程